氧氮氫分析儀主要分析原理是：分析樣品在惰性氣流存在下于石墨坩堝中加熱熔融，其中脈沖爐溫度可自由設定，并通過一個非接觸式的光學溫度傳感器進行實時監(jiān)控，用于實現(xiàn)樣品的*分解，反應所生成的CO、H2和N2被帶入到具有高穩(wěn)定性和靈敏度的檢測系統(tǒng)進行檢測。儀器校準過程既可采用標準參考物質(zhì)也可通過選配的氣體校準單元來進行，除此之外，儀器可選配自動清掃裝置和坩堝自動加載系統(tǒng)以及用于擴散氫測定的外部紅外爐。對于CO的檢測采用的是非色散性紅外檢測器，對于N2和H2的檢測則采用熱導檢測器。